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機器紹介Instruments

超分解能走査電子顕微鏡

 概 要Outline

 倍率50万倍程度の観察像が得られるエネルギー分散型元素分析装置付きの走査電子顕微鏡である。像観察については、二次電子像と反射電子像の観察が可能で、組成像も得られる。観察可能な試料は、高さ8mmおよび直径5cm以内の大きさである。操作は容易で、像観察については、初心者でも数回の講習を受ければ観察可能である。

 性 能Performane

名称(略称) 超高分解能走査電子顕微鏡(Fe-SEM )
型番(メーカー) SU8010(日立製作所製)
 分解能 1nm
加速電圧 0.5~30Kv
最大倍率 30~500.000倍
用途

試料の表面形状の観察を行う装置です。従来、観察前に蒸着処理が必要であった試料についても、加速電圧を低くすることによって無蒸着で観察できるため微細構造の観察が可能となっている

その他  
機器責任者 バイオ・応用化学科 福原 実(直086-256-9577 内3982)
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