EPMA コンバインマイクロアナライザ
概 要
試料:固体、半導体、金属材料、鉱物、セラミック、ガラスなど

説明:電子顕微鏡像(SEM)を観察しながら微少部(μmオーダー)の元素分析ができる。試料からの特性X線や映像信号(二次電子、反射電子)などの情報を元に二次濃度分布カラー画像(面分析)として表示可能。エネルギー分散型分光器(EDS)を用いた定性分析や半定量分析は、簡便で結果をリアルタイムに得られる。 位置再現性がよいので分析位置をプリセットし分析条件を決めれば、多数の分析操作をワークステーションから自動で行い大量の定量分析を高速で実行し分析データを収集・処理できる。

性能 特徴
EPMA(CMA-SEM コンバインマイクロアナライザ
 日本電子 JXA-8900 
  性能:元素分析範囲  5B〜92U
     加速電圧    0.2〜40kV
     最大倍率    30万倍
     二次電子分解能 6nm
     凹凸像、組成像
  用途:金属材料、半導体、鉱物、セラミッ
   クスなどの表面元素分析、観察
利用申し合わせ
ご参照

.EPMA(X‐650、EMAX‐2200)及び部屋の管理・運営など必要事項については、主たる利用者による会議で審議・決定する。EPMAユーザー責任者が会議を召集する。

2.責任者の選出と任期について
 (a)責任者は利用者の互選により選出する。
 (b)任期は2年間とし再任を妨げない。

3.利用目的について本学教員及びこれに準ずるものによる研究・分析・観察に関するもの。

4.利用者、EPMAユーザー登録申請について
 (a)利用者はEPMAユーザー登録者、及び登録者の許可を得た者でなけれぱならない。
 (b)EPMAユーザー登録は、EPMA維持費の負担を了承した学内教職員がEPMAユーザ責任者に申請することによって登録される。
 (c)外部からの依頼については、各利用者か窓口となって受け入れの可否を判断し、全ての責任を持つ。

5.利用時間の割り当てについて利用時間は利用者が総合機器センターに申し出ること(オンライン予約)によって割り当てられる。ただし、利用時間についてはユーザー責任者が調整する場合がある。

6.使用料金について
別に定める。

7.利用時において
 (a)運転日誌、管理区域立入記録に必要事項を記載し、総合機器センター職員の指示に従って利用する。
 (b)機器・操作に異常を認めたときは、直ちに総合機器センター職員に連絡すること。
 (c)消耗品は、各利用者の自己負担とする。
 (d)機器室の清掃は、当日使用した利用者が責任を持って行う。

8.利用者が申し合わせ事項に違反した場合、その他運営に支障を生した場合、EPMAユーザー責任者はユーザー会議に諮った後、利用者のEPMAユーザー登録を取り
消すことかある。

9.その他管理・運営につき間題が生じた時は、EPMAユーザー会議で審議する。

l0.この申し合わせは平成9年4月l日から施行する。

岡山理科大学総合機器センターEPMAユーザー部会