ＥPMA　微小部走査型X線分析装置
概　要
epma 試料：固体、半導体、金属材料、鉱物、セラミック、ガラスなど

説明：電子顕微鏡像(SEM)を観察しながら微少部(μmオーダー)の元素分析ができる。試料からの特性X線や映像信号（二次電子、反射電子）などの情報を元に二次濃度分布カラー画像（面分析）として表示可能。エネルギー分散型分光器(EDS)を用いた定性分析や半定量分析は、簡便で結果をリアルタイムに得られる。
性能　特徴
EPMA　微小部走査型X線分析装置
　走査型電子顕微鏡部(日立製)　X-650型
　　加速電圧　35kV　　分解能　6nm
　Ｘ線分光系部(堀場製)　EMAX-2200型
　　波長分散型検出器
　　エネルギー分散型検出器
　　元素分析範囲Ｂｅ(ﾍﾞﾘﾘｳﾑ)〜Ｕ(ｳﾗﾝ)
　　ＺＡＦ法による面分析、ライン分析元素、点分析が可能
利用申し合わせ

l．EPMA（X‐650、EMAX‐2200）及び部屋の管理・運営など必要事項については、主たる利用者による会議で審議・決定する。EPMAユーザー責任者が会議を召集する。

2．責任者の選出と任期について
　（a）責任者は利用者の互選により選出する。
　（b）任期は2年間とし再任を妨げない。

3．利用目的について本学教員及びこれに準ずるものによる研究・分析・観察に関するもの。

4．利用者、EPMAユーザー登録申請について
　（a）利用者はEPMAユーザー登録者、及び登録者の許可を得た者でなけれぱならない。
　（b）EPMAユーザー登録は、EPMA維持費の負担を了承した学内教職員がEPMAユーザ責任者に申請することによって登録される。
　（c）外部からの依頼については、各利用者か窓口となって受け入れの可否を判断し、全ての責任を持つ。

5．利用時間の割り当てについて利用時間は利用者が総合機器センターに申し出ること（オンライン予約）によって割り当てられる。ただし、利用時間についてはユーザー責任者が調整する場合がある。

6．使用料金について
別に定める。

7．利用時において
　（a）運転日誌、管理区域立入記録に必要事項を記載し、総合機器センター職員の指示に従って利用する。
　（b）機器・操作に異常を認めたときは、直ちに総合機器センター職員に連絡すること。
　（c）消耗品は、各利用者の自己負担とする。
　（d）機器室の清掃は、当日使用した利用者が責任を持って行う。

8．利用者が申し合わせ事項に違反した場合、その他運営に支障を生した場合、EPMAユーザー責任者はユーザー会議に諮った後、利用者のEPMAユーザー登録を取り
消すことかある。

9．その他管理・運営につき間題が生じた時は、EPMAユーザー会議で審議する。

l0．この申し合わせは平成9年4月l日から施行する。

岡山理科大学総合機器センターEPMAユーザー部会