メガピクス

カーボンコーターCarbon Coater

外 観

機器名全景

扉オープン

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試料台

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概 要

不導体・半導体試料のEPMAやSEM用観察試料を簡単に製作できるカーボン蒸着専用コーターです。誰でも簡単にカーボン蒸着することができます。1回のフラッシュで30Å(オグストローム)の膜厚と決まっているため、望みの膜厚になるまで回数を重ねて下さい。

操作も簡単、ふたを開けて試料を入れボタンを押すだけで好きなフラッシュ回数を自動的にフラッシュ。

ご利用は総合機器センター櫻井までご連絡下さい。(内3242)

名称(略称) カーボンコーター(SC-701CT)
型番(メーカー) サンユー電子株式会社
コーティング回数 1~19回 任意設定
コーティング厚さ 30Å/回
コーティング時間 0.3 sec/回
チャンバー φ160 mm X D160 mm
設置場所 C3号館2階機器室⑨
機器責任者 総合機器センター長(化学科 山田真路)

お問合せ

下記よりお気軽にお問合せください。

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