フィールドエミッション走査電子顕微鏡Ultra High Resolution Field Emission Scanning Electron Microscopes
外 観
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概 要
倍率５０万倍程度の観察像が得られるエネルギー分散型元素分析装置付きの走査電子顕微鏡である。像観察については、二次電子像と反射電子像の観察が可能で、組成像も得られる。観察可能な試料は、高さ８ｍｍおよび直径５cｍ以内の大きさである。操作は容易で、像観察については、初心者でも数回の講習を受ければ観察可能である。
| 名称（略称） | 超高分解能走査電子顕微鏡（Fe-SEM ） |
|---|---|
| 型番（メーカー） | SU8010（日立製作所製） |
| 分解能 | 1nm |
| 加速電圧 | 0.5～30Kv |
| 倍率 | 30～500.000倍 |
| 用途 | 試料の表面形状の観察を行う装置です。従来、観察前に蒸着処理が必要であった試料についても、加速電圧を低くすることによって無蒸着で観察できるため微細構造の観察が可能となっている |
| 設置場所 | Ｃ３号館２階⑥室 |
| 機器責任者 | フロンティア理工学研究所 中谷 達行 |
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