走査型電子顕微鏡Scanning electron Microscope

外　観

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概　要

　エネルギー分散型元素分析装置付きの走査電子顕微鏡である。像観察については二次電子像と反射電子像の観察が可能であり、試料の大きさは、粉状のものから高さ＝8cm,直径17cmΦの機械部品まで観察できる。元素分析については、通常酸素より原子番号の大きな元素が対象となる。操作は比較的容易で、像観察については、初心者でも数回の講習を受ければ観察可能である。また、平滑面をもつ試料については、EBSD観察も可能である。