フィールドエミッション透過電子顕微鏡Transmission electron microscope
外 観
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概 要
日本電子(株)製の電界放出型電子顕微鏡である。従来の透過型電子顕微鏡(TEM)と異なり、走査型電子顕微鏡(SEM)のような操作で原子像観察が可能である。走査透過像観察(STEM)も可能で、高角度散乱暗視野像(HAADF-STEM)、明視野像(STEM-BF)および二次電子像(SEI)を同時に取得することが可能である。付属のEDS(SDD)により、元素マッピング像を得ることも可能である。
| 名称（略称） | フィールドエミッション型透過電子顕微鏡（FE-STEM） |
|---|---|
| 型番（メーカー） | JEM-2800 （日本電子） |
| 電子銃 | ショットキー型 |
| 加速電圧 | 200kV, 100kV |
| 分解能 | 0.1nm (透過像 TEM), 0.2nm (走査像 STEM), 0.5nm (二次電子像 SEI) (200kV時) |
| EDS検出器 | シリコンドリフト検出器(SDD)(100mm^2) |
| 試料ホルダ | ベリリウム2軸傾斜ホルダ、冷却(液体窒素)2軸傾斜ホルダ |
| 設置場所 | 電子顕微鏡室②（C３号館西隣） |
| 機器責任者 | 応用化学科 草野 圭弘 |
お問合せ
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