カソードルミネッセンス測定装置
概 要Outline
サンプル表面の拡大写真および電子を照射することにより発生する蛍光を観察し原子の欠陥、不純物などを調べることができる。
性 能Performane
| 名称（略称） | カソードルミネッセンス測定装置（CL-SEM） |
| 型番（メーカー） | JSM-5410CL （日本電子） |
| 加速電圧 | 0.5～30kV |
| 最大倍率 | 20万倍 |
| 二次電子分解能 | 3.5nm |
| 試料 | 金属材料、半導体、鉱物、セラミックスなど |
| 設置場所 | Ｃ３号館２階⑨室 |
| 機器責任者 | 生物地球学科 西戸裕嗣 |
| お問い合わせ | お問い合わせフォームより24時間受付中です お電話による問合わせ：直086-256-8473 内3242 |
