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機器紹介Instruments

カソードルミネッセンス測定装置

 概 要Outline

 サンプル表面の拡大写真および電子を照射することにより発生する蛍光を観察し原子の欠陥、不純物などを調べることができる。

 性 能Performane

名称(略称) カソードルミネッセンス測定装置(CL-SEM)
型番(メーカー) JSM-5410CL (日本電子)
加速電圧 0.5~30kV    
最大倍率 20万倍
二次電子分解能 3.5nm
試料 : 金属材料、半導体、鉱物、セラミックスなど
   
機器責任者 生物地球学科 西戸裕嗣(直086-256-9406 内4290)
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