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機器紹介Instruments

走査型電子顕微鏡

 概 要Outline

 エネルギー分散型元素分析装置付きの走査電子顕微鏡である。像観察については二次電子像と反射電子像の観察が可能であり、試料の大きさは、粉状のものから高さ=8cm,直径17cmΦの機械部品まで観察できる。元素分析については、通常酸素より原子番号の大きな元素が対象となる。操作は比較的容易で、像観察については、初心者でも数回の講習を受ければ観察可能である。また、平滑面をもつ試料については、EBSD観察も可能である。

 性 能Performane

名称(略称) 走査型電子顕微鏡(SEM)
型番(メーカー) JSM-6490 (日本電子)
倍率 x5~300000
分解能 8nm
照射電流 ~1μA
   
   
機器責任者 バイオ・応用化学科 福原実(直086-256-9577 内3982)
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