走査型電子顕微鏡
概 要Outline
エネルギー分散型元素分析装置付きの走査電子顕微鏡である。像観察については二次電子像と反射電子像の観察が可能であり、試料の大きさは、粉状のものから高さ＝8cm,直径17cmΦの機械部品まで観察できる。元素分析については、通常酸素より原子番号の大きな元素が対象となる。操作は比較的容易で、像観察については、初心者でも数回の講習を受ければ観察可能である。また、平滑面をもつ試料については、EBSD観察も可能である。
性 能Performane
| 名称（略称） | 走査型電子顕微鏡（SEM） |
| 型番（メーカー） | JSM-6490 （日本電子） |
| 倍率 | ｘ5～300000 |
| 分解能 | 8nm |
| 照射電流 | ～1μA |
| 設置場所 | B1号館１階⑯室 |
| 機器責任者 | 化学科 佐藤泰史（直086-256-9737 内3992） |
| お問い合わせ | お問い合わせフォームより24時間受付中です お電話による問合わせ：直086-256-8473 内3242 |
