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機器紹介Instruments

フィールドエミッション型透過型電子顕微鏡

 概 要Outline

 日本電子(株)製の電界放出型電子顕微鏡である。従来の透過型電子顕微鏡(TEM)と異なり、走査型電子顕微鏡(SEM)のような操作で原子像観察が可能である。走査透過像観察(STEM)も可能で、高角度散乱暗視野像(HAADF-STEM)、明視野像(STEM-BF)および二次電子像(SEI)を同時に取得することが可能である。付属のEDS(SDD)により、元素マッピング像を得ることも可能である。

 性 能Performane

名称(略称) フィールドエミッション型透過電子顕微鏡(FE-STEM)
型番(メーカー) JEM-2800 (日本電子)
電子銃 ショットキー型
加速電圧 200kV, 100kV
分解能 0.1nm (透過像 TEM), 0.2nm (走査像 STEM), 0.5nm (二次電子像 SEI)
(200kV時)
EDS検出器 シリコンドリフト検出器(SDD)(100mm^2)
試料ホルダ ベリリウム2軸傾斜ホルダ、冷却(液体窒素)2軸傾斜ホルダ
設置場所 電子顕微鏡室②(C3号館西隣)
機器責任者 バイオ・応用化学科 草野圭弘(直086-256-9827 内3961)
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