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機器紹介Instruments

電子プローブマイクロアナライザ

 概 要Outline

 電子顕微鏡像(SEM)を観察しながら微少部(μmオーダー)の元素分析ができる。試料からの特性X線や映像信号(二次電子、反射電子)などの情報を元に二次濃度分布カラー画像(面分析)として表示可能。エネルギー分散型分光器(EDS)を用いた定性分析や半定量分析は、簡便で結果をリアルタイムに得られる。 位置再現性がよいので分析位置をプリセットし分析条件を決めれば、多数の分析操作をワークステーションから自動で行い大量の定量分析を高速で実行し分析データを収集・処理できる。

 性 能Performane

名称(略称) 電子プローブマイクロアナライザ(WDS)
型番(メーカー) JXA-8230 (日本電子)
元素分析範囲 5B~92U
加速電圧 0.2~30kV
二次電子分解能 6nm
最大倍率 30万倍
観察像 二次電子像、反射電子像、凹凸像、組成像
設置場所 C3号館2階⑤室
機器責任者

自然科学研究所 今山武志(直086-256-9813 内4585)

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