電子プローブマイクロアナライザ
概 要Outline
電子顕微鏡像(SEM)を観察しながら微少部(μmオーダー)の元素分析ができる。試料からの特性X線や映像信号（二次電子、反射電子）などの情報を元に二次濃度分布カラー画像（面分析）として表示可能。エネルギー分散型分光器(EDS)を用いた定性分析や半定量分析は、簡便で結果をリアルタイムに得られる。 位置再現性がよいので分析位置をプリセットし分析条件を決めれば、多数の分析操作をワークステーションから自動で行い大量の定量分析を高速で実行し分析データを収集・処理できる。
性 能Performane
| 名称（略称） | 電子プローブマイクロアナライザ（WDS） |
| 型番（メーカー） | JXA-8230 （日本電子） |
| 元素分析範囲 | 5B～92U |
| 加速電圧 | 0.2～30kV |
| 二次電子分解能 | 6nm |
| 最大倍率 | 30万倍 |
| 観察像 | 二次電子像、反射電子像、凹凸像、組成像 |
| 設置場所 | Ｃ３号館２階⑤室 |
| 機器責任者 | フロンティア理工学研究所 今山武志 |
| お問い合わせ | お問い合わせフォームより24時間受付中です お電話による問合わせ：直086-256-8473 内3242 |
